MC2 på Chalmers bygger mikrovågs- och fotonik-lina i renrummet
Under året har forskningen kring mikrovågs- och optoelektronikkomponenter vid Chalmers i Göteborg gett resultat som väckt internationell uppmärksamhet. Ännu bättre kan det bli nu eftersom en tillverkningslina för mikrovågs- och fotonikkomponenter byggs i renrummmet på Mikroteknologi och nanovetenskap, MC2. Därigenom höjs kvaliteten i tillverkningen av komponenter och enkla kretsar och kvaliteten i arbetet med att utveckla stabila tillverkningsprocesser ökas. Detta kommer att ytterligare stärka Chalmers forskning och förmåga till industriell samverkan inom området.
– Den nya processlinan kommer dramatiskt att öka våra möjligheter att tillverka högkvalitativa komponenter säger Per-Åke Nilsson, forskare vid avdelningen för mikrovågselektronik och ansvarig för mikrovågs- och fotonik-linan. Vi kommer att arbeta med att säkra kvaliteten för de långa processkedjor som behövs för att tillverka våra komponenter. Exempel på komponenter som ska tillverkas är transistorer och integrerade kretsar för mikrovågsområdet (MMIC) i kiselkarbid, galliumnitrid och indiumfosfid, samt ytemitterande lasrar (VCSELs) i galliumarsenid.
Jan Stake, chef för processlaboratoriet vid MC2, betonar att industrin redan idag drar nytta av processerna i det som nu blir mikrovågs- och fotonik-linan. Några exempel är att MC2 inom Chalmers Centrum för Höghastighetselektronik, CHACH, samarbetar med SAAB och Ericsson Microwave Systems på kiselkarbid- och galliumnitridkomponenter och kretsar. Forskarna arbetar också med Philips Semiconductors på kiselkarbidtransistorer och med Totalförsvarets Forskningsinstitut och European Space Agency på indiumfosfidkomponenter för THz tillämpningar. Den nu uppbyggda processen förstärker MC2s möjligheter att samverka med industrin inom detta område.
– Det känns oerhört positivt med den utveckling vi har i vårt renrum, säger Jan Stake. Vi har i år 180 aktiva användare och antalet bokade timmar i våra maskiner har ökat med 25 procent under det senaste året.
– Vi har vetenskapligt haft vårt mest produktiva år hittills säger Herbert Zirath, professor och avdelningschef vid avdelningen för mikrovågselektronik vid MC2. Våra forskare har världsrekord i mobilitet i kiselkarbid MOS-transistorer, och nya lasrar med rekordhög uteffekt, låga drivströmmar och stor bandbredd har tagits fram för tillämpningar i nästa generations fiberoptiska länkar. Vid de stora internationella mikrovågskonferenserna (Europeiska Mikrovågskonferensen och International Microwave Symposium) inbjöds vi att delta med totalt 21 vetenskapliga bidrag, vilket sätter oss i nivå med de bästa grupperna i Europa.
– Vi har gjort ett strategiskt val, säger Stefan Bengtsson, chef för MC2, och genomför nu en profilering av verksamheten i vårt renrum. Förutom det självklara uppdraget att erbjuda en bred plattform för utveckling och testning av nya idéer, där verktygslådan som utvecklats för elektronik får en mycket bredare tillämpning, har vi för laboratoriet definierat två satsningsområden, en mikrovågs- och fotoniklina och en nanoprocessmiljö. I det första spetsområdet skall komponenter tas fram som ligger på den allra senaste tekniska nivån och i den andra skall nanolitografin pressas till sina yttersta gränser.
Kontaktinformation
Ytterligare information:
Professor Stefan Bengtsson, Mikroteknologi och nanovetenskap, MC2; Chalmers, tel 031-772 1881,
e-post:stefan.bengtsson@mc2.chalmers.se
